WF6 bruges hovedsageligt som råmateriale til kemisk dampaflejring (CVD) af metalwolfram i elektronikindustrien. WSi2 fremstillet af WF6 kan bruges som ledningsmateriale i store integrerede kredsløb (LSI) og kan også bruges som råmateriale til halvlederelektroder, fluorråmaterialer til kemiske stoffer, polymerisationskatalysatorer, optiske materialer osv.